高纯气体，顾名思义，它的纯度是比较高的，气体有很多，每种气体的纯度指标是不一样的，有些气体纯度大于等于99.999%的为高纯气体；而还有些气体，例如氧气，纯度到99.99%也可以叫称高纯氧；高纯气体的应用是比较广的，像半导体行业，使用的也是比较多的。
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