大家都知道,现在气体的运用在我们的生活中随处可见了,在电子器件生产工艺中.广泛使用了各种高纯气体.按工艺中高纯度气体的不同用途,可将其分为保护气、反应气和载气.用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气.在国内为获取氢气和氨气,为获得较高纯度的氢气,一般都采用电解纯水的方法制取.这种方法需用大量电能来电解水,致使成本很高,为减少电能消耗,降低成本,都在研制和应用各种混合气。
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